솔 - 젤법을 이용한 Pb(Zr, Ti)O₃ 박막의 성장 및 특성에 관한 연구

김봉주 ,  이재찬 ,  유지범

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Development of Helicon Plasma Sources and Applications

장홍영

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Modeling on discharge characteristics of helicon plasmas

Suwon Cho

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

질소 Helicon Wave Plasma의 진단

김기성 ,  전찬욱 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

On the Possibility of Multiple ICP and Helicon Plasma for Large-area Processes

J.W. Lee ,  Sang-Hyuk An ,  Hong-Young Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Experimental Research of an ECR Heating with R-wave in a Helicon Plasma Source

Ku dongjin ,  AN C. Y ,  Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Helicon Wave Plasma CVD 방법에 의한 SiOF 박막형성

최치규 ,  오상식 ,  이광만 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Experimental Study of an rf antenna immersed in a helicon plasma

Rod.Boswell

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

RF 마크네트론 스퍼터링으로 제조된 Pb(Zr,Ti)O₃ 박막의 특성

송한욱 ,  김윤석 ,  노광수 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

압전체 Pb(Zr, Ti)O₃를 이용하여 제작한 마이크로 액츄에이터

안정렬 ,  전성진 ,  김동우 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

End Plate Effect of Helicon Plasma with Permanent Magnet

안상혁 ,  이진원 ,  김용훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

A study on the surface morphology of Pb(Zr,Ti)0₃ thin films by Atomic Force Microscopy

박주상 ,  김영관 ,  손병청

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Methanation of CO₂ by low pressure helicon plasma discharge

Susumu TOKO ,  Ryu KATAYAMA ,  Kazuno 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Helicon Wave Excitation of M=+1, ±1 and ±2 Modes

Jung-Hyung Kim ,  Seok-Min Yun ,  Hong-Young Chang

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

고밀도 Helicon plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구

김정형 ,  서상훈 ,  윤석민 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Helicon Discharge Plasma Source and Laser Thomson Scattering System in KRISS

서병훈 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

강유전체 Pb(Zr, Ti)O₃ 박막에 대한 분극피로와 회복 현상의 비대칭적인 성질

채병규 ,  박철홍 ,  장민수 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Study on Argon Metastable and 4p State Neutral Atoms in Magnetized ICP and Helicon Plasmas Measured by Laser Induced Fluorescence and Plasma Emission

서병훈 ,  유신재 ,  김정형 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

An Experimental Study on Multiple ICP & Helicon Source for Oxidation in Semiconductor Process

Jin-Won Lee ,  Byoung-keun Na ,  Sang-Hyuk An 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

HWP(Helicon Wave plasma) CVD 법에 의해 제조된 c - BN 박막의 온도에 따른 상 변화 관찰

김경보 ,  전찬욱 ,  김선효

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02