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Dual 및 Rectangular형 UBM 스퍼터링 소스의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
UBM 스퍼터링을 이용한 Al 박막의 치밀도 향상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
UBM 스퍼터링을 이용한 불용성 전극용 Ta 박막의 증착 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
마그네트론 스퍼터링을 이용한 TiN 다층 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
UBM 소스 설계를 위한 자기장 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
UBM 스퍼터링을 이용한 생체전극용 백금 코팅
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In2O3 Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 공정조건에 따른 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
스퍼터링으로 제조된 비정질 카본박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
UBM 스퍼터링법으로 코팅한 벌크비정질합금(BMG) 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
Unbalance Magnetron 스퍼터링 소스의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
고속 스퍼터링 소스를 이용한 구리 후막 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
스퍼터링 증착변수에 따른 SKD 61강 기판상 TiN 박막의 증착거동 변화
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
스퍼터링를 이용한 주석 박막의 형상제어
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
산업용 기능성 박막 공정을 위한 이온빔 소스 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
TiN 박막의 N₂ / Ar 비율 및 열처리 조건에 따른 W - TiN 복층 게이트의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
이온빔 스퍼터링 방법을 이용하여 제작한 ZnO 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
DC 반응성 스퍼터링법으로 증착한 TiN/Al, TiCN/Al 박막의 전기적·기계적 특성 및 내부식성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
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