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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제19회 학술발표회논문개요집
발행연도
2000.7
수록면
156 - 156 (1page)

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2001

W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석
윤선필 ,  노관종 ,  양성우 외 4명 Applied Science and Convergence Technology 2001.07 학술저널

2000

TiN 박막의 N₂ / Ar 비율 및 열처리 조건에 따른 W - TiN 복층 게이트의 특성 분석
윤선필 ,  노관종 ,  양성우 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.07 학술대회자료
W-TiN 금속 게이트를 사용한 금속-산화막-반도체 소자의 특성 분석
윤선필 ,  노관종 ,  양성우 외 4명 대한전자공학회 학술대회 2000.06 학술대회자료
W / TiN 금속 게이트 MOS소자의 물리ㆍ전기적 특성 분석
윤선필 ,  노관종 ,  노용한 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.02 학술대회자료

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W / TiN 금속 게이트 MOS소자의 물리ㆍ전기적 특성 분석
윤선필 ,  노관종 ,  노용한 한국진공학회 학술발표회초록집 2000 .02
N₂O를 이용하여 질화된 MOS 소자 게이트 산화막의 전하포획 특성분석
장성수 ,  문성근 ,  노관종 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1998 .07

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