고속 스퍼터링 소스를 이용한 구리 후막 제조 및 특성

정재인; 양지훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정재인 (포항산업과학연구원) 양지훈 (포항산업과학연구원)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 제50회 한국진공학회 동계정기학술대회 초록집

발행연도: 2016.2

수록면: 345 - 345 (1page)

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#구리후막 #고속스퍼터링 #자기스퍼터링 #물리증착 #코팅층 특성

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정재인

소속기관 포항산업과학연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 257 이용수 10,749

양지훈

소속기관 포항산업과학기술연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-420-002444687

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