Bias enhanced HFCVD법에 의한 amorphous carbon whisker 증착

권민철; 김용; 이재열; 박홍준

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 권민철 김용 이재열 박홍준

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제18회 학술발표회논문개요집

발행연도: 2000.2

수록면: 92 - 92 (1page)

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권민철

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김용

소속기관 동아대학교

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이재열

소속기관 서울대학교

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박홍준

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

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