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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제11권 제1호
발행연도
2002.4
수록면
8 - 15 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2002

Hybrid FVA증착법에 의해 합성된 ta - C / ta - C : Si 다층 박막에 관한 연구
이철승 ,  이광렬 ,  윤기현 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.06 학술대회자료
FVA 증착법에 의해 합성된 ta - C 박막의 구조 및 물성 제어
이철승 ,  신진국 ,  김종국 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2002.04 학술저널

2001

Hybrid Filtered Vacuum Arc 증착법 의해 제작된 실리콘 함유 ta - C 박막의 미세 구조 및 물성
이철승 ,  이광렬 ,  윤기현 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

초록· 키워드

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진공 여과 음극 아크(Filtered Vacuum cathodic Arc, FVA) 증착법을 이용하여 초경질 다이아몬드상 카본 박막(tetrahedral amorphous carbon, ta-C)을 합성하였다. FVA 증착법은 이온화율이 높고, 치밀한 다이아몬드상 카본 박막 증착에 적당한 이온 에너지를 갖는 등의 장점을 갖고 있다. 하지만, 이때의 카본 이온 에너지는 아크 소스의 조작만으로는 쉽게 조절되지 못한다는 단점을 갖고 있다. 다양한 물성 조절을 위해, 본 연구에서는 기판에 바이어스 전압을 인가하여 ta-C 박막의 기계적 물성을 제어하였다. 기판의 바이어스 전압이 증가함에 따라, 기계적 물성 및 밀도는 바이어스 전압이 -100 V인 경우에 최대값을 보였다. 최대 경도값 및 밀도는 각각 55±3 ㎬, 3.6±0.4 g/㎤로 이는 RF PACVD나 이온 빔으로 증착되는 DLC의 3~5배에 이르는 값이다. 조성 및 구조 분석은 Raman spectroscopy와 NEXAFS spectroscopy를 이용하여 조사하였다. 각 바이어스 전압에 따른 박막의 물성 변화는 박막내의 sp²와 sp³ 혼성결합 분율의 변화의 관점으로 이해할 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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