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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2003.2
- 수록면
- 220 - 220 (1page)
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Bias effect on the chemical structure and hardness during deposition of carbon nitride film by RF magnetron sputtering
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초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상 증착 장치에서 기판 DC 바이어스가 in situ 플라즈마 세정및 저온 실리콘 에피 증착에 미치는 영향
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