Structures and Properties of hard Multilayered TiN / BON Thin Films Prepared by PAMOCVD Method

D.-C. Lim; G. C. Chen; S.-B. Lee; J.-H. Boo

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: D.-C. Lim G. C. Chen S.-B. Lee J.-H. Boo

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제22회 학술발표회초록집

발행연도: 2002.2

수록면: 166 - 166 (1page)

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