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W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
ALD법으로 증착한 TiN막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2002 .09
TiN 박막의 N₂ / Ar 비율 및 열처리 조건에 따른 W - TiN 복층 게이트의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
Synthesis and Characterization of Tin Nitride Thin Films Deposited by Low Nitrogen Gas Ratio
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
Sol - Gel process와 Ion Beam을 응용한 WC의 TiN 코팅에 관한 연구 [1]
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
Cathodic arc ion plating법에 의한 WC - Tin 및 WC - TiAlN 초미세화합물의 내마모특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Surface Structure of TiN Films by Ion Beam Processing
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
Properties of Multi Layer TiN Films Fabricated by Oblique Angle Deposition
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
Growth of Tin Oxide Thin Films by a Hybrid Ion Beam
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
경사 코팅법으로 제조된 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
Cu(Mg) alloy 금속배선에 의한 TiN 확산방지막의 특성개선
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
Double layer TiB₂- TiN Films
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
전이금속이 도핑된 TiN의 강자성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
Tin and Germanium Complexes as Precursors for Thin Film Transistors
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Tin monosulfide thin films grown by atomic layer deposition using tetrakis(dimethylamino)tin for photovoltaic applications
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
TiN박막형성에 미치는 ion beam조사효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
스퍼터링 증착변수에 따른 SKD 61강 기판상 TiN 박막의 증착거동 변화
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
질소 이온빔이 TiN 박막의 형성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
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