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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제23회 학술발표회초록집
발행연도
2002.6
수록면
57 - 57 (1page)

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2002

B10H₁₄ 이온 주입을 통한 ultra - shallow p+ - n junction 형성 및 전기적 특성
송재훈 ,  김지수 ,  임성일 외 3명 Applied Science and Convergence Technology 2002.09 학술저널
Decaborane 이온 주입법에 의한 ultra - shallow p+ / n junction의 전기적 특성에 관한 연구
송재훈 ,  송종한 ,  임성일 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.06 학술대회자료

2001

B10H₁₄을 이용한 ultra shallow - junction 형성 및 전기적 특성
송재훈 ,  송종한 ,  이준엽 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.07 학술대회자료

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