이온빔 보조에 의한 Al 표면의 에칭 및 산화막 형성

김종민 ,  권봉준 ,  이주선 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

이온빔 스퍼터링 방법을 이용하여 제작한 ZnO 박막의 물성 연구

최성창 ,  박용욱 ,  윤석진 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

CO₂ gas cluster 이온빔을 이용한 ITO / glass 평탄화

송재훈 ,  윤덕주 ,  오희범 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

가스 클러스터 이온빔을 이용한 고체 표면 평탄화 및 식각에 대한 연구

송재훈 ,  최덕균 ,  최원국

Applied Science and Convergence Technology

2003 .03

이온 빔 스퍼터링 방법으로 제작한 Mo 박막의 특성조사

조상현 ,  김효진 ,  윤영목 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

이온 클러스터빔 증착장비의 개발

고석근 ,  임종태 ,  정형진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Effect of Rapid Thermal Annealing on the Properties of Nitrogen-doped In₂O₃ Thin Films

탁성건 ,  김준영 ,  오석현 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

플라즈마 에칭을 통한 촉매 금속의 표면 변화가 탄소나노튜브의 성장에 미치는 영향

최선홍 ,  이태영 ,  한재희 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

이온빔 - 보조 DC 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 박막의 광학적 특성

김성화 ,  이재홍 ,  황보창권

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

플라즈마를 이용한 고효율 스퍼터링 공정 연구

김종국 ,  이승훈 ,  강재욱 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

집속이온빔 장치를 이용한 금속시료의 스퍼터링 수율 측정

김수민 ,  오현주 ,  이세한 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

마그네트론 스퍼터링 타겟 표면의 온도 변화에 대한 수치 모델과 측정 비교 연구

홍광기 ,  양원균 ,  최지성 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

집속이온빔 장치를 이용한 Al, Cu 및 Ni의 스퍼터링 수율 측정

현정우 ,  오현주 ,  최은하 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Preparation of Superhydrophobic Metal Surfaces with Hierarchical Structures

김재훈 ,  박유정 ,  선건주 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

고속 스퍼터링 소스를 이용한 구리 후막 제조 및 특성

정재인 ,  양지훈

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

이온 빔 에칭에서의 퍼말로이 박막의 에칭특성

김성동 ,  이정중 ,  임상호 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

1996 .11

화학적 에칭 공정에 의해 합성된 알루미늄 표면에 대한 초 발수성 코팅

최재웅 ,  김하경 ,  이창현 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

표면처리 및 코팅 공정을 위한 선형이온소스 구조 최적화 연구

강용진 ,  김기택 ,  김도현 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

직충돌 이온산란 분광법(ICISS)에 의한 고체 표면구조의 해석(1): 기본 원리

황연

한국결정학회지

2006 .01

이온빔 스퍼터링과 열처리를 이용해 제작한 Ge 나노결정/SiO₂ 다층박막의 특성 연구

홍승휘 ,  황성원 ,  이도규 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08