내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발

주정훈

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 주정훈

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제26회 학술발표회초록집

발행연도: 2004.2

수록면: 115 - 116 (2page)

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2004

내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발

주정훈 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

2003

고밀도 유도 결합 플라즈마를 이용한 박막 증착 장치 개발

주정훈 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2003.01 학술대회자료

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주정훈

소속기관 군산대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 176 이용수 7,340

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반응성 유도결합 플라즈마 시스템에서 방전시 압력 변화의 해석

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