유도결합 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 cubic boron nitride 박막 증착에 관한 연구

남경희 ,  이승훈 ,  홍승찬 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

직접이온빔으로 증착된 Carbon Nitride 박막의 기판개질 효과에 대한 연구

이덕연 ,  김용환 ,  최동준 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

유도결합 플라즈마 증발법을 이용한 CrN 박막 증착에 관한 연구

정승재 ,  이광희 ,  주정훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

유도 결합 플라즈마 기술

이효창

인포메이션 디스플레이

2017 .01

반응기판의 회전 속도에 따른 CVD 반응기 내의 유동 특성과 증착률에 관한 수치적 연구

백재상 ,  부진효 ,  한전건 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04

플라즈마 화학증착 법에 의한 질화탄화규소의 박막증착

T.Y Eom ,  S.J. Pa ,  k 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2014 .11

마이크로파플라즈마화학증착에 의한 보론 혼입된 다이아몬드 박막의 제조

이상운 ,  정영리 ,  윤천호 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

개시제를 이용한 화학 기상 증착 고분자 박막과 그 응용

임성갑

고분자 과학과 기술

2011 .06

리모트 플라즈마 원자층 증착 기술 및 high-k 응용

Jeon ,  Hyeong-Tag ,  Kim 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2010 .01

RF 플라즈마 기상증착법에 의한 다이아몬드 박막 제조

김경례 ,  김용진 ,  현준원

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1999 .10

ECR PECVD법으로 증착된 lead titanate박막의 조성과 미세구조에 대한 증착변수의 영향

정수옥 ,  정성웅 ,  이원종

한국재료학회지

1997 .01

The effect of substrate bias for titanium nitride thin films deposited by cathode Arc method

한경훈 ,  박민석 ,  여기호 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

다양한 기판 위에 증착된 금 박막으로부터의 나노입자 형성 거동 연구

이승환 ,  정구환

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

유도결합 플라즈마(ICP) 화학기상 증착법(CVD)을 이용한 SnO₂ 박막의 광학적 특성

홍승찬 ,  이승훈 ,  남경희 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .05

증착 공정에 따른 알루미늄 박막의 제조와 특성

정재인 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

고분자 플라스틱 기판과 유리 기판위에 증착한 알류미늄 박막 특성 분석

이명재 ,  곽성관 ,  김동식 외 2명

전자공학회논문지-IE

2002 .06

자화된 유도 결합형 플라즈마를 이용한 다이아몬드성 탄소박막 증착

김중균 ,  이호준 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .11

내장형 Multiple U-type 안테나를 이용한 나노 다결정 실리콘의 증착에 대한 연구

김홍범 ,  이형철 ,  염근영

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2007 .04