두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정

인정환; 배근희; 장홍영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 인정환 배근희 장홍영

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제24회 학술발표회초록집

발행연도: 2003.2

수록면: 221 - 221 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2008

펄스 마그네트론 스퍼터링 소스에서 time-resolved cutoff probe 진단과 플라즈마의 Loss 특성, Modified Global Model을 이용한 박막에 가해지는 ion energy flux density의 분석

인정환 , 나병근 , 장홍영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

2004

그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구

인정환 , 정민재 , 장홍영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.08 학술대회자료

Unbalanced DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구

인정환 , 장홍영 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

그리드를 장착한 DC 마그네트론 스퍼터링 플라즈마의 특성 연구

인정환 , 정민재 , 장홍영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

2003

그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구

인정환 , 정민재 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2003.05 학술대회자료

두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정

인정환 , 배근희 , 장홍영 한국진공학회 학술발표회초록집 2003.02 학술대회자료

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인정환

소속기관 한국광기술원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 12 이용수 284

배근희

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 11 이용수 267

장홍영

소속기관 한국과학기술원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 TOP 10% 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 120 이용수 3,141

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