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DC 마그네트론 스퍼터를 사용하여 투명 디스플레이 전면전극용 ITO박막의 증착 및 조건 변화에 따른 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 이산화티타늄 박막의 표면 및 광학적 특성
새물리
2020 .07
RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 BiFeO₃-CoFe₂O₄ 나노복합체 박막의 자성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2017 .05
2D PIC 시뮬레이션을 이용한 마그네트론 스퍼터링 증착 공정의 이온 특성 변화 분석 및 증착 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
[보호진공과학상] RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ZnO:Al 박막의 열공정에 따른 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
RF-마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 다층구조의 마그네타이트 에피 박막성장의 최적화에 대한 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2015 .05
이원 동시 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 In-Sn-Zn-O 박막의 열전 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
RF 마그네트론 CO-Sputtering 시스템을 이용하여 증착된 TiAlNX 박막의 최적 공정 및 박막 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 SnS 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
3차원 입자-셀 시뮬레이션을 이용한 방위각 비대칭 자석을 사용한 마그네트론 스퍼터링 시뮬레이션
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
터치스크린 패널의 국부 단선 수리를 위한 LIFT 기법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
EMF (electromagnetic field strength)가 스퍼터된 ITO 박막의 초기 성장에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .08
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 FeSu₂ 박막의 기판 온도에 따른 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
DC 스퍼터링 성장 방법에서 플라즈마 출력 전류 변화가 티타늄 산화 박막의 전기 전도도에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 Sn doped IZO 박막의 열전 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
증착온도에 따른 Fe 박막의 구조적, 자기적 특성 변화 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2016 .11
스퍼터링 소스를 이용하여 빗각 증착되어진 TiN 박막의 공정조건에 따른 형상 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
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