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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제26회 학술발표회초록집
발행연도
2004.2
수록면
127 - 127 (1page)

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2008

펄스 마그네트론 스퍼터링 소스에서 time-resolved cutoff probe 진단과 플라즈마의 Loss 특성, Modified Global Model을 이용한 박막에 가해지는 ion energy flux density의 분석
인정환 ,  나병근 ,  장홍영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

2004

그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
인정환 ,  정민재 ,  장홍영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.08 학술대회자료
Unbalanced DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
인정환 ,  장홍영 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료
그리드를 장착한 DC 마그네트론 스퍼터링 플라즈마의 특성 연구
인정환 ,  정민재 ,  장홍영 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

2003

그리드를 장착한 DC 마그네트론 플라즈마의 플라즈마 특성 연구
인정환 ,  정민재 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2003.05 학술대회자료
두 개의 그리드를 이용한 개선된 마그네트론 플라즈마에서 플라즈마 특성 측정
인정환 ,  배근희 ,  장홍영 한국진공학회 학술발표회초록집 2003.02 학술대회자료

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