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논문 기본 정보

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저널정보
한국분석과학회 분석과학 분석과학 제7권 제4호
발행연도
1994.12
수록면
527 - 540 (14page)

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본 연구는 질소이온 주입시킨 7050A1 합금의 표면 미세구조 변화에 대하여 살펴보았다. 이온 주입은 이온을 가속시켜서 물리적으로 모재의 표면에 주입시키는 표면처리의 한 방법으로서, 본 연구에서는 가속 에너지를 100KeV로 하고 전류밀도는 23.1μA/㎠, 주입량은 5×10^(15)ions/㎠, 5×10^(17)ions/㎠과, 8×10^(17)ions/㎠로 질소이온을 주입하였다. 이온 주입층은 EPMA, AES, XPS, TEM 등으로 분석하였으며, 그 결과를 computer simulation을 통하여 비교하여 보았다. 질소이온 주입시킨 7050A1 합금은 극 표면에서부터 약 4000Å 사이에서 AlN이 Gaussian 분포를 지니고 있었으며, 일정 깊이에서 이온의 주입에 의해 충격을 받은 영역을 관찰할 수 있었고 이러한 표면의 변화들은 미소경도에 영향을 미치게 되어 저하중에서 경도값의 상승을 야기했다.

목차

요약

Abstract

1.서론

2. 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

5. 참고문헌

참고문헌 (0)

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