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강자성, 초거대자기저항체인 La_(0.67)Sr_(0.33)MnO₃ 타겟을 이용하여 248 ㎚의 파장을 갖는 KrF 엑시머 레이저를 사용한 PLD법으로 박막을 제작하고, 강유전체 물질인 PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O₃물질을 spin coating 방법으로 제조하였다. Pt기판(111)위에 125 mtorr의 산소분압으로 증착한 rhombohedral 구조를 갖는 LSMO박막을 증착하고 그 위에 PZT 물질을 증착한 결과 LSMO, PZT 두 물질 모두 단일상으로 [111]방향으로의 성장하였음을 알 수 있었다. AFM(atomic force microscope) data 및 SEM (scanning electron microscope) data를 바탕으로 매우 균질한 박막을 얻었음을 알수 있었으며, 이때의 자기적성질 및 전기적성질은 각각 강자성적인 성질 및 강유전체적인 성향을 나타내었다. 이러한 결과를 가지고 박막증착에 있어서 서로간의 결정구조가 미치는 영향과 다른 경향에 대한 조절이 가능함을 알 수 있었다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract
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