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2001
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Water-based 졸겔 증착법을 이용하여 다결정체 La⅔Sr⅓MnO₃(LSMO) 박막을 2000Å 두께의 열 산화층을 갖는 Si(100) 기판상에 제조하여 상온에서 LSMO 박막의 두께변화 다른 저 자장영역(120 Oe)에서의 터널형 자기저항 변화를 연구하였다. XRD 회절분석 결과 단일상의 페롭스카이트 결정구조임을 알 수 있었으며, RBS 스펙트럼 분석결과 박막의 조성비 La:Sr:Mn:O는 0.67:0.33:1.0:3.0임을 알 수 있었다. LSMO 박막의 자성특성 측정결과 두께 증가에 따라 포화자화는 750 Å까지 급격한 증가현상을 보이다 1500 Å을 기점으로 점차 감소하는 경향을 나타내고 있으며, 보자력은 800Å 까지 급격한 증가를 보이다 일정해지는 경향을 볼 수 있었다. 저 자장영역에서의 터널형 자기저항 변화비는 약 1500 Å의 두께 영역에서 최대값을 나타냄을 알 수 있었다. 이러한 저 자장 영역에서 LSMO 박막의 터널형 자기저항 변화비의 두께 의존성은 LSMO 박막과 Si 기판의 계면에 존재하는 상호확산 현상에 의한 dead layer의 존재 및 LSMO 박막의 열 처리시 발생되는 열 격자 변형 효과로 설명하였다.
목차
국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract
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