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대한설비공학회 대한설비공학회 강연회 및 기타간행물 대한설비공학회 1992年度 국제 클린룸 기술 심포지움
발행연도
1992.6
수록면
1 - 17 (17page)

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종래의 클린룸에서 중요한 과제였던 청정도, 온ㆍ습도, 실내압, 기류, 정전기, 전자파, 소음 등의 기술은 거의 완성된 단계에 있으며, 측정입경 0.01㎛에서 1cfm의 성능을 갖는 계측기의 실용화가 요구되고 있다. 향후의 반도체 제조 프로세스로서는 불활성 가스 중에서 처리하는 밀폐형의 것이 있지만 아직 실용화 단계는 이르다. 클린룸내에서 제어해야 되는 Factor로서는 공기중의 불순물(유기물, 무기물, 알칼리 금속, 중금속, 수분) 등을 들 수 있으며, 이에 따른 제거시스템의 개발이 요구된다. 그리고 클린룸의 저코스트화, 에너지절약, 안전, 쾌적성 증대 등의 문제들도 향후 중요시 되리라 본다.
1. 클린룸 공기중 ㎚사이즈의 입자생성에 관한 연구
슈퍼 클린룸에서 ULPA 필터로 부터의 취출공기 중에는 3㎚ 이상의 입자는 1cfm당 수개 정도에 불과하며, 청정공기중에 이온을 발생시키면 수화물의 초미립자가 생성되는 것을 알 수 있다. 이러한 초미립자의 입경은 2.5~3.0㎚ 정도임이 밝혀졌다.
이러한 크기의 미립자는 16M DRAM과 64M DRAM의 제조공정상에는 크게 영향을 미치지는 않지만 향후에는 제어되리라 생각한다. 이러한 입자의 크기보다는 입자의 자체성분(유기물 오염, 중금속 오염)이 문제가 될 수 있다.
2. 클린룸의 구성재로부터의 탈유기 가스의 평가
클린룸 구성재인 실리콘실링 재료, 도료, 파티션 재료, ULPA필터의 구성재 등으로 부터 발생되는 유기가스를 가스크로마토그래피에 의해 정성정량분석을 했다. 그 결과 클린룸의 구성재 중에서는 도료, 실리콘 실링재로부터 많이 발생되는 것이 판명되었다.

목차

[번역문] 슈퍼 클린룸 - 현황과 과제 -

[번역문] Super Clean Room - The Present Situation and the Subject to be Solved -

[원문] ス―パ―クリ―ンル―ム - 現狀と課題 -

(A-3) クリ―ンル―ム空氣中での㎚サイズ粒子生成に關する硏究

(A-20) クリ―ンル―ム構成材からの脫有機ガスの評價

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