반응표면분석법을 이용한 초정밀 마이크로스테이지의 설계

예상돈; 민병현; 이재광

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자료유형: 학술저널

저자정보: 예상돈 (동의대학교) 민병현 이재광

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제5권 제1호

발행연도: 2006.3

수록면: 39 - 44 (6page)

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Ultra precision positioning mechanism has been widely used on semiconductor manufacturing equipments, optical spectrum analyzers and cell manipulations. Ultra precision positioning mechanism consists of several actuators, sensors, guides and control systems. Its efficiency depends on each performance of components. The object of this study is to design and analyze the micro stage that is one of the equipments embodied in ultra precision positioning mechanism. The micro stage consists of PZT actuators and flexure hinges. The structural design of flexure hinge is optimized by using RSM and FEM. The control factors concerned with the design of flexure hinges of stage and arms are optimized by minimizing the equivalent stress on the hinge and maximizing 1st natural frequency based on RSM and FEM simulation under various kinds of design conditions.

#Micro Stage(마이크로 스테이지) #PZT(압전소자) #RSM(반응표면분석법) #FEM(유한요소법) #Flexure Hinge(유연힌지)

참고문헌 (8)

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[학술지(정기간행물)] - / 2000. / Ultra-precision Positioning Technology 17 (12) : 9 ~ 15

[학술지(정기간행물)] - / 2002. / Design and Control of Nano- Precision Machine Systems 19 (1) : 13 ~ 17

[학술지(정기간행물)] - / 1997. / Error analysis of flexure hinge mechanism induced by machining imperfection 21 (2/3) : 83 ~ 89

[학술지(정기간행물)] - / 2002. / A Study on the Optimal Structural Design using FEM for Micro Stage 19 (10) : 60 ~ 65

[학술지(정기간행물)] - / 2001. / The Design, Fabrication, and Modeling of a Piezoelectric Linear Motor

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예상돈

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민병현

소속기관 동의대학교

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