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학술대회자료
저자정보
예상돈 (동의대학교) 민병현
저널정보
한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2008년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2008.11
수록면
297 - 302 (6page)

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Ultra precision positioning mechanism has been widely used on semiconductor manufacturing equipments, optical spectrum analyzers and cell manipulations. Ultra precision positioning mechanism is consisted of several actuators, sensors, guides and control systems. The ultra-precision stage is consisted of PZT actuators and flexure hinges. In this paper, multi-objective optimization of ultra-precision stage structure is presented. Where, three objective functions are the 1st natural frequency on the stage, the maximum equivalent stress on the hinge and the reaction force on contact surface with a PZT actuator. The goals are to obtain useful area of flexure hinge thickness and vertical arm length in design criteria. The results were obtained by overlay of the regression model of equations.
#Ultra-Precision Stage(초정밀 스테이지) #PZT(압전소자) #RSM(반응표면분석법) #FEM(유한요소법) #Flexure Hinge(유연힌지)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 초정밀 스테이지
3. 초정밀 스테이지의 설계
4. 결론
참고문헌

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