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고상 확산 방법에 의한 SOI MOSFET 소자제작과 후속 열처리에 의한 동작특성 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .08
SOI 특성 분석을 위한 Pseudo - MOSFET 측정용 소자 제작에 있어 식각공정이 미치는 영향과 대책
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
100 keV O+ 이온 빔에 의한 SIMOX SOI의 Si - SiO₂계면 구조
Applied Science and Convergence Technology
1998 .02
수소 열처리를 이용한 고신뢰성 트렌치 게이트 MOSFET
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
SOI 구조의 C - V 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
Pseudo-MOSFET을 이용한 SiGe-on-SOI의 Ge 농도에 따른 기판의 특성 평가 및 열처리를 이용한 전기적 특성 개선 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Study of Microwave Annealing for Fabrication of Silicon-on-Insulator MOSFETs
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
O₂ ashing 표면처리에 의한 Bio-MOSFET 소자의 특성 열화 및 후속 열처리에 의한 특성 개선
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
SOI를 이용한 Non - classical Nano - CMOS 소자 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Sidewall 산화막을 이용한 고밀도 트렌치게이트 power MOSFET 제작
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
SIMOX SOI 제조시 산소석출물의 거동과 전기적특성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
기판 표면 처리 조건에 따른 게이트 산화막의 특성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
N₂O를 이용하여 질화된 MOS 소자 게이트 산화막의 전하포획 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
트렌치 게이트 Power MOSFET의 고신뢰성 게이트 산화막 형성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
산소분위기 열처리법에 의한 SIMOX SOI의 특성개선
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
고집적 메모리 소자를 위한 MOSFET 구조
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
나노 CMOS 소자를 위한 SOI 기판에서의 Ni-Silicide 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .02
수소화 처리된 게이트산화막을 이용한 MIS-NVM소자의 memory특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
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