Pseudo-MOSFET을 이용한 SiGe-on-SOI의 Ge 농도에 따른 기판의 특성 평가 및 열처리를 이용한 전기적 특성 개선 효과

박군호 ,  정종완 ,  조원주

Applied Science and Convergence Technology

2008 .03

SOI 특성 분석을 위한 Pseudo - MOSFET 측정용 소자 제작에 있어 식각공정이 미치는 영향과 대책

권경욱 ,  이종현 ,  이봉희 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

고상 확산 방법에 의한 SOI MOSFET 소자제작과 후속 열처리에 의한 동작특성 개선

이우현 ,  구현모 ,  김관수 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

SOI 구조의 C - V 특성 분석

배영호 ,  이광철 ,  정욱진 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

급속 열처리가 초미세 SOI MOSFET 소자의 게이트 산화막 계면 및 동작 특성에 미치는 영향

조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Ge 층을 증착한 Si 기판에서의 Ge Nanowire에 대한 특성 연구

정재훈 ,  김유리 ,  윤현식 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .08

SOI 기판을 이용한 back-gated FET 센서의 pH 농도검출에 관한 연구

박진권 ,  김민수 ,  조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

Study of Microwave Annealing for Fabrication of Silicon-on-Insulator MOSFETs

신중원 ,  정우채 ,  조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

열주기에 따른 SiGe BiCMOS 소자의 전기적 특성

이승윤 ,  박찬우 ,  김상훈 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

SIMOX SOI 제조시 산소석출물의 거동과 전기적특성에 미치는 영향

배영호 ,  정욱진 ,  김광일 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

산소분위기 열처리법에 의한 SIMOX SOI의 특성개선

배영호 ,  권영규 ,  홍재화 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

실리콘-게르마늄 합금의 전자 소자 응용

이승윤

Applied Science and Convergence Technology

2011 .03

SiGe 집적회로 내의 다결정 SiGe 박막 저항기의 특성 분석

이상흥 ,  이승윤 ,  박찬우

Applied Science and Convergence Technology

2007 .11

O₂ ashing 표면처리에 의한 Bio-MOSFET 소자의 특성 열화 및 후속 열처리에 의한 특성 개선

오세만 ,  정명호 ,  조원주

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

Optimization of μc-SiGe:H Layer for a Bottom Cell Application

조재현 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

합금 타겟을 사용한 SOI 기판에서의 Ni-Silicide 연구

김지영 ,  김초롱 ,  임재영 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

O₂ 플라즈마 표면처리에 의한 Bio-FET 소자의 특성 열화 및 후속 열처리에 의한 특성 개선

오세만 ,  정명호 ,  조원주

Applied Science and Convergence Technology

2008 .05

나노 CMOS 소자를 위한 SOI 기판에서의 Ni-Silicide 특성 연구

김지영 ,  김초롱 ,  최승화 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

기생저항 효과를 제거한 SOI 구조의 전기적 틍성분석

강희성 ,  배영호 ,  김광일 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06