Hybrid FVA증착법에 의해 합성된 ta - C / ta - C : Si 다층 박막에 관한 연구

이철승 ,  이광렬 ,  윤기현

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

FVA 증착법에 의해 합성된 ta - C 박막의 구조 및 물성 제어

이철승 ,  신진국 ,  김종국 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2002 .04

Pulse - CVD를 이용한 gate용 Ta₂O5 박막의 증착 및 특성분석

배근학 ,  김진모 ,  정동근

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

ECR - PECVD로 증착된 a - C : H 박막의 열처리 효과

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

자장여과아크플라즈마를 활용한 사면체 비정질 카본 막(ta-C)의 후막화 공정기술 연구

장영준 ,  김도현 ,  강용진 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

상온 증착된 ITO 박막의 열처리 조건에 따른 물리적 특성 변화

박상덕 ,  배정운 ,  이도행 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

공정 온도에 따른 사면체 비정질 카본(ta-C) 코팅 막의 트라이볼로지적 특성 연구

류호준 ,  김도현 ,  장영준 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

X - ray reflectivity를 이용한 Ta₂O5박막의 열처리에 따른 두께와 평균전자밀도 변화 연구

윤상배 ,  이태권 ,  최진태 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Ag/Ta/glass 다층박막의 Ta seeding이 전기적 광학적 특성에 미치는 효과

박선호 ,  조현철 ,  이기선

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

전구체 박막 증착법을 이용한 CuInSe2 박막 합성 및 결정화 메커니즘 분석

이동욱 ,  최영우 ,  용기중

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .08

입체표면형상 구조위에 PECVD로 증착된 Ta₂O5 유전박막의 특성

조용범 ,  이경우 ,  천희곤 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

Hybrid Filtered Vacuum Arc 증착법 의해 제작된 실리콘 함유 ta - C 박막의 미세 구조 및 물성

이철승 ,  이광렬 ,  윤기현

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

ALD법으로 증착한 SrTiO₃ 박막의 후속 열처리 온도에 따른 물리적 특성 평가

최주윤 ,  박경 ,  안치홍 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교

장동식

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

In₂O₃ 박막위에 증착된 초박막 Co 촉매가 NO의 감도에 미치는 영향

이혜정 ,  김경국 ,  정종학 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성

김혁 ,  이주현 ,  한창희 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .12

Pulsed Laser Deposition을 이용한 Zn_0.4Fe_1.6O₃ 박막 합성과 그 결정구조 및 자기적 특성의 연구

장안나 ,  박창엽 ,  송종현

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2011 .06

유기소자의 Encapsulation 박막으로 사용된 원자층 및 분자층 증착 Al₂O₃/Alucone 박막의 특성 연구

박민우 ,  여동현 ,  원범희 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

증착 후 열처리 및 표면스퍼터에 따른 ZnO 박막의 표면형상과 전기적 특성의 변화

김병진 ,  최정호 ,  조남희

한국결정학회지

1998 .01