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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.10
수록면
645 - 646 (2page)

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#Stage #vibration

목차

1. 서론
2. 진동 실험 설정
3. 진동 레벨 평가
4. 단축 stage의 moving table 동특성과 가진 입력 특성
5. 결론 및 향후 연구
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