위치결정 스테이지 베이스 진동 모델링 및 저감기법 개발

박아영; 임재곤; 홍성욱

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박아영 (금오공과대학교) 임재곤 (금오공과대학교) 홍성욱 (금오공과대학교)

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회지 Vol.19 No.4

발행연도: 2010.8

수록면: 476 - 484 (9page)

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Precise positioning stages are often employed for precise machinery. For the purpose of vibration isolation, these precise positioning stages are mounted on a heavy base structure which is supported by compliant springs. Then the base structure is subjected to residual vibration due to the reactive force and vertical moving load induced by the stage motion. This paper investigates the vibration behavior of a positioning stage base and the associated vibration suppression technique. A dynamic model is developed to investigate the base vibration due to the reactive force and moving load effects by the moving stage. An input shaping technique is also developed to suppress the residual vibrations in base structures. Simulations and experiments show that the developed dynamic model adequately represents the base vibration and that the proposed input shaping technique effectively removes the residual vibrations from the positioning stage base.

#Base Structure Vibration(베이스 구조 진동) #Positioning Stage(위치결정 스테이지) #Dynamic Model(동적 모델) #Input Shaping(입력성형) #Residual Vibration(잔류진동)

참고문헌 (8)

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1. [학술지(정기간행물)] - Jones, S / 1999 / An Approach to Control Input Shaping with Application to Coordinate Measuring Machines / Journal of Dynamic Systems, Measurement and Control 121 : 242 ~ 247

2. [학술지(정기간행물)] - Tseng, Y. T / 2003 / High-speed and Precise Positioning and XY Table / Control Engineering Practice 11 (4) : 357 ~ 365

6. [학술대회논문] - Kim, H. K / 2008 / Application of Input Shaping Method for Positioning Stage in Consideration of Base Structure Vibration / Proceedings of 2008 KSMTE Fall Conference, Ansan : 375 ~ 380

7. [기타자료] - Singhose, W / 2007 / Command Generation for Dynamic System / Lulu.com

8. [학술대회논문] - Hong, S. W / 2008 / A New Method for Manufacturing Machine Vibration Reduction Using Multi-mode Input Shapers / Proceedings of the 2008 International Symposium on Flexible Automation : 131 ~

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