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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2004.10
수록면
294 - 297 (4page)

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2005

압저항체에서 발생하는 잔류응력이 저항변화율 분포도에 미치는 영향성 평가
심재준 ,  한근조 ,  이성욱 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료
지지 조건이 압저항 가속도센서의 민감도에 미치는 영향 평가
심재준 ,  한근조 ,  한동섭 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료

2004

압저항 가속도 센서의 압저항 변화율 분포도에 관한 연구
심재준 ,  한근조 ,  한동섭 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Sensor used by semiconductor process produced an MAP sensor and applied to several industry. Among those sensors divided as transducer which convert physical quantity into electrical value, piezoresistive type sensor has been studied for the properties and sensitivity of piezoresistor. In this paper, the variation of seismic mass which have been functioned as actuator moving the cantilever beam analyzed the effect on distribution of resistance change ratio and supposed the optimal shape and position of piezoresistor. The resulting are following;
According to the increment of seismic mass size, the value of resistance change ratio decreased caused by improve the stiffness. Y directional piezoresistor is formed in spot of 100㎛ apart from cantilever edge and length of that is 800㎛. To increase the sensitivity, piezoresistor is made as n-type and x-dirction.
#Piezoresistance(압저항) #Resistance Change Ratio(저항변화율) #Acceleration Sensor(가속도 센서) #Seismic Mass(질량) #Cantilever type(외팔보형태)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 압저항 특성
3. 해석 모델
4. 저항 변화율 분포
5. 결론
참고문헌

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