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이용수
2005
ABSTRACT
1. 서론
2. 압저항 특성
3. 해석 모델
4. 저항 변화율 분포
5. 결론
후기
참고문헌
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Fabrication of the piezoresistive pressure sensor using implantation steps
대한전자공학회 학술대회
2006 .06
지지 조건이 압저항 가속도센서의 민감도에 미치는 영향 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .06
압저항형 마이크로 캔틸레버를 이용한 원자현미경 시스템 제작 및 특성평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2011 .06
A Novel Barometric Pressure Sensor Based on Piezoresistive Effect of Polycrystalline Silicon
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2019 .04
Piezoelectric PZT Cantilever Array Integrated with Piezoresistor for High Speed Operation and Calibration of Atomic Force Microscopy
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2002 .12
압저항 효과를 이용한 실리콘 압력센서 제작공정의 최적화
전자공학회논문지-SD
2005 .01
압저항 가속도 센서의 압저항 변화율 분포도에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2004 .10
탄소나노튜브 필름을 이용한 투명 압저항체의 제작 및 특성 연구
대한기계학회 논문집 A권
2010 .12
An Integrated Sensor for Pressure, Temperature, and Relative Humidity Based on MEMS Technology
Journal of Mechanical Science and Technology
2006 .04
감도특성 향상을 위한 국부적 표면식각 다이아프램 구조 연구
센서학회지
2004 .01
ICP-RIE 기술을 이용한 차압형 가스유량센서 제작
반도체및디스플레이장비학회지
2008 .01
GDI 엔진용 고압 레일압 센서 소자 국산화 개발
한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회
2014 .11
An Accelerometer with Polysilicon Piezoresistors Bulk-Micromachined Using a p+ Silicon Etch-Stop Layer
전기학회논문지
1996 .10
다이아프램 접촉저항변화를 이용한 압력 레벨센서 설계에 관한 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2012 .06
SIMOX SOI를 이용한 압저항의 제조와 특성 ( Fabrication and Characterization of the Piezoresistors Using SIMOX SOI Wafer )
대한전자공학회 학술대회
1995 .11
SIMOX SOI를 이용한 압저항의 제조와 특성
대한전자공학회 학술대회
1995 .12
저압용 실리콘 압력센서의 내압 특성 향상에 관한 해석
전자공학회논문지-SD
2011 .03
압저항형 압력센서의 통합해석 및 검증
전기학회논문지
2009 .03
실리콘 나노와이어의 압저항 효과에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .11
유한요소법에 의한 잔류응력 영향 연구 ( A Study on the Effect of Residual Stress by F. E. M. )
대한기계학회 춘추학술대회
1987 .01
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