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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2005.10
수록면
796 - 799 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2005

압저항체에서 발생하는 잔류응력이 저항변화율 분포도에 미치는 영향성 평가
심재준 ,  한근조 ,  이성욱 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.10 학술대회자료
지지 조건이 압저항 가속도센서의 민감도에 미치는 영향 평가
심재준 ,  한근조 ,  한동섭 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2005.06 학술대회자료

2004

압저항 가속도 센서의 압저항 변화율 분포도에 관한 연구
심재준 ,  한근조 ,  한동섭 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2004.10 학술대회자료

초록· 키워드

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In these days, the piezoresistive material has been applied to various sensors in order to measure the change of physical quantities. But the relationship between the sensitivity of a sensor and the position and size of piezoresistor has rarely been studied. Therefore, this paper was focused on the effect of residual stress induced in piezoresistor on the distribution of resistance change ratio and supposed the feasible position of piezoresistor. The resulting are following;
The tensile residual stress in the vicinity of piezoresistor decreased the value of resistance change ratio and could not effect on all the area of diaphragm but local area around the piezoresistor. Also, the piezoresistor in the diaphragm type pressure sensor with boss should fabricate in the edge of boss in order to increase the sensitivity of pressure sensor.
#잔류응력(Residual Stress) #저항 분포도(Resistance change Distribution) #확산 공정(Diffusion Process) #다이아프램 압력센서(Diaphragm Type Pressure Sensor)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 압저항 특성
3. 해석 모델
4. 저항 변화율 분포
5. 결론
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