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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집
발행연도
2005.10
수록면
70 - 73 (4page)

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Small force measurements ranging from 1 pN to 100 μN, we call it Nano Force, become the questions of common interests of biomechanics, nanomechanics, material researches, and so on. However, unfortunately, quantitative and accurate force measurements have not been taken so far. This is because there are no traceable force standards and a calibration scheme. This paper introduces a quantitative force metrology, which provides traceable link to SI (International Systems of Units). We realize SI traceable force ranging from 1 nN to 100 μN using an electrostatic balance and disseminate it through transfer standards, which are self-sensing cantilevers that have integrated piezoresistive strain gages. We have been built a prototype electrostatic balance and Nano Force Calibrator (NFC), which is an AFM cantilever calibration system. As a first experiment, we calibrated normal spring constants of commercial AFM cantilevers using NFC. Calibration results show that the spring constants of them are quite differ from each other and nominal values provided by a manufacturer (up to 240 % deviation).
#Nano Force(나노힘) #Atomic Force Microscope(원자힘 현미경) #Cantilever(캔티레버) #Spring Constant(스프링 상수) #Calibration(교정) #Force Standard(힘 표준)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 나노힘 표준기
3. 나노힘 교정기
4. 나노힘 센서
5. 결론
참고문헌

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