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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.6
발행연도
2007.6
수록면
96 - 104 (9page)

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Calibration of the spring constants of atomic force microscopy (AFM) cantilevers is one of the issues in biomechanics and nanomechanics for quantified force metrology at pico- or nano Newton level. In this paper, we present an AFM cantilever calibration system: the Nano Force Calibrator (NFC), which consists of a precision balance and a one-dimensional stage. Three types of AFM cantilevers (contact and tapping mode) with different shapes (beam and V) and spring constants (42, 1,0.06 N m') are investigated using the NFC. The calibration results show that the NFC can calibrate the micro cantilevers ranging from 0.01 - 100 N rn" with relative uncertainties ofless than 2%.
#AFM(원자힘 현미경) #cantilever(캔틸레버) #spring constant(스프링 상수) #force metrology(힘측정)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 나노 힘 교정기(NFC)
3. 캔틸레버의 강성 교정
4. 불확도 산출
5. 결론 및 향후 계획
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