플렉셔 구조의 병렬형 선형 안내기구를 이용한 2 축 초정밀 스테이지

최기봉

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최기봉

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제23권 제1호

발행연도: 2006.1

수록면: 129 - 135 (7page)

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In this study, a two-axis ultra-precision stage driven by piezoelectric elements is presented. The stage has a flexure-type parallel linear guide mechanism consisting of quad-symmetric simple parallel linear springs and quad-symmetric double compound linear springs. While the simple parallel linear springs guide the linear motion of a moving plate in the stage, the double compound linear springs follow the motion of the simple parallel linear spring as well as compensate the parasitic motions caused by the simple parallel linear springs. The linear springs are designed by rectangular beam type flexures that are deformed by bending deflection rather than axial extension, because the axial extension is smaller than the bending deflection at the same force. The designed guide mechanism is analyzed by finite element method(FEM). Then two-axis parallel linear stage is implemented by the linear guide mechanism combined with piezoelectric elements and capacitance type displacement sensors. It is shown that the manufactured ultra-precision stage achieves 3㎚ of resolution in x- and y-axis within 30㎛ of operating range.

#Linear guide mechanism(선형 안내기구) #Nano positioning(나노 위치결정) #Simple parallel linear spring(단순병렬선형스프링) #Double compound linear spring(이중복합선형스프링) #Flexure(플렉셔)

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