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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2007.5
수록면
2,951 - 2,954 (4page)

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A microgripper using thermal actuator and SU-8 polymer was designed and fabricated to manipulate cells and microparts. A chip size of a microgripper was 3 ㎜ × 5 ㎜. The thermally actuated microgripper consisted of two couples of hot and cold arm actuators. The high thermal expansion coefficient, 52 ppm/℃, of SU-8 compared to silicon and metals, allows the actuation of the microgripper. Thickness and width of SU-8 as an end-effector were 26 ㎛ and 80 ㎛, respectively. Initial gap between left jaw and right jaw was 120 ㎛. The ANSYS program as FEM tool was introduced to analyze the thermal distribution and displacement induced by thermal actuators. XeF₂ gas was used for isotropic silicon dry etching process to release SU-8 end-effector. Mechanical displacements of the fabricated microgripper were measured by optical microscopy in the range of input voltage from 0 V to 2.5 V. The maximum displacement between two jaws of a microgripper Type OG 1_1 was 22.4 ㎛ at 2.5 V.
#Thermal actuator(열구동 액츄에이터) #Micro(마이크로) #Jaw(턱) #End-effector(엔드 이펙터) #Gripper(그리퍼)

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로 그리퍼 설계 및 제작
3. 마이크로 그리퍼의 구동 특성
4. 결론
후기
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