압력스위치 어레이를 이용한 마이크로 압력센서

박중호; 윤동원; 이동원; 함상용; 조정대

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박중호 윤동원 이동원 함상용 조정대

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2006.6

수록면: 3,184 - 3,188 (5page)

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A novel MEMS pressure sensor using resistance change of pressure switch array is proposed and developed. It consists of a silicon substrate that has a thin metal-deposited diaphragm and a pressure switch array patterned on Pyrex glass. Pressure switch array is formed by connecting serially a few of electrodes and resistances. When the pressure is applied, the change of the contact area due to the diaphragm deformation is converted to sensor output through an electric signal circuit. To form the metal-deposited diaphragm and the pressure switch array, fabrication process using micromachining technologies is presented. Then, simulation results such as a stress analysis of the diaphragm and contact area characteristics with an applied pressure are presented and several methods for linearity compensation are discussed. Furthermore, basic characteristics of the fabricated prototype are experimentally investigated and the validity of the proposed pressure sensor is verified.

#Pressure(압력) #Sensor(센서) #Pressure Switch(압력스위치) #Diaphragm(다이아프램) #Contact Resistance(접촉저항) #Patterning(패터닝)

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