그래핀 박막 및 타이타늄 기판을 적용한 고감도 마이크로 압력센서 개발

이흥식

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이흥식

저널정보: 한국기계기술학회 한국기계기술학회지 한국기계기술학회지 제22권 제2호

발행연도: 2020.1

수록면: 283 - 289 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2020

그래핀 박막 및 타이타늄 기판을 적용한 고감도 마이크로 압력센서 개발

이흥식 한국기계기술학회지 2020.01 학술저널

2019

그래핀-티타늄 박막을 적용한 자동차 타이어 고감도 압력센서 개발

이흥식 한국자동차공학회 춘계학술대회 2019.05 학술대회자료

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In this research, a capacitance pressure sensor with graphene membrane and titanium substrate have been developed and studied as a potential robust substrate and a sensitive membrane material for micromachined devices. Mechanical lamination process combined with micromachining processes have been selected for the fabrication of the pressure sensor. Prior to the fabrication, capacitive pressure sensors based on a graphene diaphragm and titanium substrate have been designed. The fabricated pressure sensor uses a titanium substrate, a graphene film laminated with a floating movable plate, and a fixed surface micromachined back electrode of electroplated nickel. Finite element method is adopted to investigate the residual stresses formed in the process.Also, the out-of-plane strain is calculated under the pressure of the diaphragm. The sensitivity of devices manufactured using these techniques is 7.5 to 4 kPa-1, and the net capacitance change in the range of 0 to 180 kPa is 013 pF.

참고문헌 (12)

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Garima Mittal / 2015 / A review on carbon nanotubes and graphene as fillers in reinforced polymer nanocomposites / Journal of Industrial and Engineering Chemistry 21(1):11~25

C. Chen / 2017 / Fabrication and Characterization of Structural/Dielectric Three-phase Composite : Continuous Basalt Fiber Reinforced Epoxy Resin Modified with Graphene Nanoplates / Compos. Part A Appl. Sci. Manuf 94:199~208

A. C. Ferrari / 2015 / Science and Technology Roadmap for Graphene, Related Two-Dimensional Crystals, and Hybrid Systems / Nanoscale 7:4598~4810

C. Lee, X / 2008 / Measurement of the Elastic Properties and Intrinsic Strength of Monolayer Graphene / Science 321:385~388

A. A. Balandin / 2008 / Superior Thermal Conductivity of Single-layer Graphene / Nano Lett 8:902~907

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