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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. xyθ미세 구동기의 개념설계
3. xyθ 미세 구동기의 모델링
4. xyθ 미세 구동기의 최적 설계
5. 제어
6. 결론
참고문헌
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고정밀 위치 제어용 병렬 XYθ 테이블 설계 및 구현 ( Parallel XYθ Table Design and Implementation for Precision Positioning )
전자공학회논문지-S
1999 .07
화상처리를 이용한 병렬 XYθ 테이블의 위치결정에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
박형 병렬구조 XYθ 정렬 스테이지 개발
한국산학기술학회 논문지
2011 .01
화상처리를 이용한 병렬 XYθ 테이블의 위치결정의 관한 연구 ( Position Detection of Parallel XY 0 Table Using Image Precessing )
대한전자공학회 학술대회
1997 .07
The concept design of the x y θ fine stage and its optimal design to obtain fast response in lithography system.
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2001 .10
광센서를 이용한 병렬 XYθ 테이블의 고정밀 위치제어 시스템 개발
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1998 .10
Design of a High-Speed, Short-Stroke xy-Stage with Counterbalance Mechanisms
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2015 .10
XY Recorder에 있어 Noise
전기의세계
1971 .09
XY-스테이지 운전에 의한 방진시스템 응답 특성에 대한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
퍼지 제어기를 이용한 XY-Table의 제어 ( A Control of XY-Table using Fuzzy Controller )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
퍼지 제어기를 이용한 XY-Table의 제어
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1994 .10
사용자 이용성향을 고려한 014XY망 성능 분석
한국통신학회 학술대회논문집
1998 .11
입력성형 인자에 따른 XY 스테이지의 구동 특성 영향에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
인터넷접속 서비스(014xy)에 관한 소비자 행태분석
한국통신학회 학술대회논문집
2001 .07
퍼지논리에 의한 XY 테이블의 위치제어기 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
태그 클러스터링을 위한 FP 알고리즘을 적용한 임계치 선정에 관한 연구
한국멀티미디어학회 학술발표논문집
2008 .11
평면 XY 스테이지용 공기베어링 안내면 오차 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
고정도, 초박형 Alignment Stage 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2006 .10
Fuzzy Hypothesis Test by Poisson Test for Most Powerful Test
한국지능시스템학회 논문지
2009 .12
최소 비트 오류 확률 관점에서 stepped θ-QAM 최적 θ 분석
대한전자공학회 학술대회
2019 .06
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