메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제12권 제1호
발행연도
2011.1
수록면
74 - 79 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
정렬 시스템(Alignment System)은 다축의 스테이지를 이용하여 신속하게 물체를 정렬오차 범위 내로 위치 결정시키는 역할을 한다. 본 연구에서는 병렬구조로 설계하여 두께가 얇고 높은 정밀도와 더불어 강성이 높은 XYθ 정렬 스테이지를 개발하였다. 개발된 박형 병렬구조 XYθ정렬 스테이지는 직각도, 반복정밀도, 진직도 등의 3가지 측 정항목에 대해 초정밀급을 달성하였으며 반복정밀도는 1 ㎛미만이다. 비전시스템 및 정렬알고리즘을 활용한 정렬성능 평가에서는 정렬오차 ± 6.25㎛를 달성하였다.
#XYθ alignment stage #Alignment system #Parallel motion

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 오상영 / 2008 / LCD 산업에서 품질코스트시스템의 혁신적 활용 연구 / 한국산학기술학회논문지 9 (1) : 195 ~ 201 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - 한주훈 / 1999 / 고정밀 위치 제어용 병렬 XYθ 테이블 설계 및 구현 / 전자공학회논문지 36 (7) : 62 ~ 70 dbpia 3. [학술지(정기간행물)] - K.SChen / 2002 / Design and control for an electromagnetically driven X-Y-θ Stage / Precision Engineering 26 : 355 ~ 369 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - 김정도 / 2005 / 리니어 초음파 모터를 이용한 X-Y stage의 마이크로 미터급 위치 구동회로 설계 / 한국산학기술학회논문지 6 (2) : 165 ~ 171 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - 김기현 / 2010 / 평면형 구조와 Halbach 자석배열 선형모터를 이용한 리니어 XY 스테이지의 설계 / 한국생산제조시스템학회지 19 (4) : 553 ~ 561 dbpia

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

UVW 스테이지 모션 알고리즘 비교 및 정밀도 분석
이덕영 ,  신동원 ,  윤장규 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2014 .05
고정도, 초박형 Alignment Stage 개발
김지성 ,  황진동 ,  김명수 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006 .10
Comparative Analysis for Kinematics and Accuracy for High-Precision 3-Axis UVW Stage
이덕영 ,  신동원 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2018 .09
초정밀 3축 이송 스테이지의 개발 : 1. 해석 및 설계
강중옥 ,  서문훈 ,  한창수 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004 .03
Design and Control of Flexure based XY θz Stage
Dongwoo. Kang ,  Kihyun Kim ,  Youngman Choi 외 3명 Journal of Mechanical Science and Technology 2005 .11

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2018-505-001142319