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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제8호
발행연도
2005.8
수록면
159 - 164 (6page)

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The Hot Embossing Lithography(HEL) as a method for the fabrication of the nanostructure with polymer is becoming increasingly important because of its simple process, low cost, high replication fidelity and relatively high throughput. In this paper, we carried out experimental studies and numerical simulations in order to understand the viscous flow of the polymer (PMMA) film during the hot embossing process. To grasp the characteristics of the micro patterning rheology by process parameters (embossing temperature, pressure and time), we have carried out various experiments by using the nickel-coated master fabricated by the deep RIB process and the plasma sputtering. During the hot embossing process, we have observed the characteristics of the viscoelastic behavior of polymer. Also, the viscous flow during the hot embossing process has been simulated by the continuum based FDM(Finite Difference Method) analysis considering the micro effect, such as a surface tension and a contact angle.
#Hot embossing(핫 엠보싱) #PMMA(polymethylmethacrylate) #Viscosity(점성) #Contact angle(접촉각) #Micro rheology(미세레올로지)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 성형 실험
3. 성형 실험 및 해석
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
L , 1994. , Giant magnetoresistance in magnetic multilayered nanowires 65 : 2484 ~ 2486 google schola Chou,S. Y.,Krauss,P. R.,Renstrom,P. J , 1995. , Imprint of sub-25㎚ vias and trenches in polymers 67 : 3114 ~ google schola Hirai,Y.,Fujiwara,M.,Okuno,T , 2001. , Study of the resist deformation in nanoimprint lithography 19 (6) : 2811 ~ 2815 google schola H , 1999. , Nanostructuring of polymers and fabrication of interdigitated electrodes by hot embossing lithography 46 : 121 ~ 124 google schola Becker , 2000. , Hot embossing as a method for the fabrication of polymer high aspect ratio structures 83 : 130 ~ 135 google schola

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