미세 핫엠보싱 공정에서의 폴리머 레올로지 특성

김광순; 김호; 김헌영; 김병희

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김광순 (강원대학교) 김호 (강원대학교) 김헌영 (강원대학교) 김병희 (강원대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년도 생산 및 설계공학 부문 추계학술대회 논문집

발행연도: 2003.11

수록면: 47 - 52 (6page)

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The hot embossing process has been mentioned as one of major nanoreplication techniques. This is due to its simple process, low cost, high replication fidelity and relatively high throughput. As the initial step of quantitating the embossing process, simple parametric study about embossing time have been carried out using high-resolution masters which patterned by the DRIE process and laser machining. Under the various embossing time, the viscous flow of thin PMMA films into microcavities during compression force has been investigated. Also, a study about simulating the viscous flow during embossing process has planned and continuum scale FDM analysis was applied on this simulation. With currently available test data and condition, simple FDM analysis using FLOW-3D was made attempt to match simulation and experiment.

#Hot embossing(핫 엠보싱) #Micro/Nano rheology(마이크로/나노 레올로지) #PMMA(PMMA) #Polymer(폴리머) #Throughput(재료처리량) #Auxiliary Sinking Structure(ASS, 보조함몰구조)

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