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저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2003년 춘계학술대회논문집
발행연도
2003.4
수록면
1,036 - 1,042 (7page)

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The hot embossing process has been mentioned as one of major nanoreplication techniques. This is due to
its simple process, low cost, high replication fidelity and relatively high throughput. As the initial step of
quantitating the embossing process , simple parametric study about embossing time have been carried out
using high-resolution masters which patterned by the DRIE process and laser machining. Under the various
embossing time, the viscous flow of thin PMMA films into microcavities during compression force has been
investigated. Also, a study about simulating the viscous flow during embossing process has planned and
continuum scale FDM analysis was applied on this simulation. With currently available test data and
condition, simple FDM analysis using FLOW3D was made attempt to match simulation and experiment.

목차

Abstract

1. 서론

2. 연구 동향

3. 기초 성형 시험

4. 기초 성형 해석

5. 결론

후기

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