백색광 주사 간섭계를 이용한 레이저 마크의 깊이 측정

강민구; 김승우

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 강민구 김승우

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 韓國精密工學會 99年度春季學術大會論文集(Ⅰ)

발행연도: 1999.5

수록면: 45 - 48 (4page)

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