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상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
상압 플라즈마를 이용한 carbon film 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
상압 플라즈마를 이용한 저온 증착 공정
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Remote방식의 대기압 플라즈마 장치를 이용한 SiO₂ 박막 증착 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
E- beam 증착법으로 증착된 Sn/In 박막의 전기적/광학적 특성 비교
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
원거리 플라즈마 화학증착법(RPECVD)에 의해 증착한 Carbon Nitride 박막의 구조적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
원거리 플라즈마 화학증착법에 의한 저온 이산화규소 박막의 증착에서 기상반응의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
유기금속화합물을 이용한 원자층단위 증착에 의한 금속확산 방지층의 증착특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
유기소자의 Encapsulation 박막으로 사용된 원자층 및 분자층 증착 Al₂O₃/Alucone 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
상압 플라즈마 (APP : Atmospheric pressure Plasma)에 의한 PS에 증착된 Cu 박막의 접착력 증진 및 친수성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
열 화학기상증착법을 이용한 BCN 박막의 합성과 전기적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
전자빔 증착법에 의해 증착된 MgO - SrO - CaO 박막의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
최근의 투명 박막증착기술의 동향
포장계
1999 .01
Toluene precursor를 사용하여 PECVD에 의해 증착된 law - k 유기박막의 증착온도의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
상압 플라즈마 화학기상 증착법으로 제작한 MoS₂/Si와 WS₂/Si 이종접합 소자의 계면 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
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