대항 타겟식 스퍼터법을 이용한 IZO 박막의 특성

임유승; 김상모; 김경환

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 임유승 김상모 김경환

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 288 - 288 (1page)

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