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학술대회자료
저자정보
권나현 (부산대학교) 하상훈 (부산대학교) 박현철 (부산대학교) 조영래 (부산대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
238 - 238 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2011

DC 스퍼터로 증착한 금속박막의 실시간 전기저항 측정과 유착두께에 관한 연구
권나현 ,  김회봉 ,  황빈 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.02 학술대회자료
마그네트론 스파터시 금속 극박막의 실시간 전기저항과 미세구조 변화
권나현 ,  김회봉 ,  황빈 외 2명 한국재료학회지 2011.01 학술저널

2010

DC 마그네트론 스퍼터법에 의해 증착한 금속박막의 실시간 면저항 변화 특성연구
권나현 ,  김회봉 ,  박기정 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료
DC 마그네트론 스퍼터법으로 Al 박막의 형성 시 실시간 전기저항 측정에 대한 연구
권나현 ,  하상훈 ,  박현철 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.02 학술대회자료

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기판 바이어스 전압변화에 따른 TiN박막의 배향성 및 미세구조 변화
서현 ,  한만근 ,  박원근 외 2명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2009 .05
DC 반응성 마그네트론 스퍼터링법으로 TiN/Al, TiCN/Al 박막의 물성 평가
이현준 ,  송풍근 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2012 .11
DC 마그네트론 스퍼터를 사용하여 투명 디스플레이 전면전극용 ITO박막의 증착 및 조건 변화에 따른 특성 분석
김은서 ,  김인수 ,  박진수 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015 .02
ITO 박막의 DC 마그네트론 스퍼터링 진공 증착
허창우 한국정보통신학회논문지 2010 .04
DC 마그네트론 스퍼터링 장치의 영구자석에 의한 자기장의 2차원 해석적 해
柳東勳 ,  權得哲 ,  李宗圭 외 3명 전기학회논문지 C 2005 .07

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