메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
274 - 279 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2006

차등 $3\omega$ 기법을 이용한 다층 유전체 박막의 열전도도 측정 및 검증
신상우 ,  조한나 ,  조형희 정보저장시스템학회논문집 2006.01 학술저널

2005

보호층이 차등 3ω 기법으로 측정된 유전체 박막의 열전도도에 미치는 영향
신상우 ,  조한나 ,  조형희 대한기계학회 춘추학술대회 2005.11 학술대회자료
차등 3$\omega$ 기법을 이용한 다층 유전체 박막의 열전도도 측정 및 검증
신상우 ,  조한나 ,  조형희 정보저장시스템학회 추계학술대회논문집 2005.01 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
Thermal conductivity of silicon dioxide thin film covered by additional protective layer is measured via differential 3ω method which is capable of measuring thermal conductivity of multilayer thin films. This method requires the deposited metal line as a heater on the film of interest. However, the upper protective layer should be inserted inevitably between the metal heater and the thin film in certain circumstances such as when the thin film is a well-oxidized material or an electrically conductive material on account of protecting the thin film from oxidation or insulate the thin film from current leakage. Since the verification of differential 3ω method for these cases had not been conducted, we have shown that the differential 3ω method is verified to be reliable when the thermal conductivity of thin film with upper protective layer is measured as long as the proposed preconditions of the upper layer are satisfied. Experimental results show that the experimental error increases with the aspect ratio between upper layer thickness and width of the heater due to the heat spreading effect.
#Thermal Conductivity(열전도도) #Thin Dielectric Film(유전체 박막) #Differential 3ω Method(차등 3ω 기법) #Protective Layer(보호층)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 이론
3. 실험 구성
4. 실험 결과 및 토의
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

3ω법을 이용한 나노 복합체의 열전도도 측정 연구
김정은 ,  송현우 ,  이상현 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 2002 .10
The study of biosensors from 3ω method
Namwoo Yi ,  Jaeusng Pa ,  k 대한기계학회 춘추학술대회 2011 .04
나노층상실리케이트 에폭시-나노콤포지트 열전도 특성연구
박재준 ,  조희수 ,  박용범 대한전기학회 학술대회 논문집 2008 .05
3 오메가 방법을 이용한 나노유체의 열영동 측정에 관한 실험적 연구
오동욱 ,  이준식 대한기계학회 춘추학술대회 2008 .05
3 ω 방법을 이용한 다중벽 탄소나노튜브 나노유체의 열확산율 측정
오동욱 ,  권오명 ,  이준식 대한기계학회 춘추학술대회 2007 .10

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016011421