메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
權赫摝 (중앙대학교) 李晟赫 (중앙대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제56권 제12호
발행연도
2007.12
수록면
2,202 - 2,207 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

초록· 키워드

오류제보하기
The present article investigates experimentally and theoretically thermal and optical characteristics of thin film structures through measurement of thermal conductivity of Pyrex 7740 and reflectance in silicon thin film. The 300 method is used to measure thermal conductivity of very thin film with high accuracy and the optical characteristics in thin films are studied to examine the influence of incidence angle of light on reflectance by using the CTM(Characteristics Transmission Method) and the 633 ㎚ He-Ne laser reflectance measurement system. It is found that the estimated reflectance of silicon show good agreement with experimental data. In particular, the present study solves the EPRT(Equation of Phonon Radiative Transport) which is based on Boltzmann transport equation for predicting thermal conductivity of nanoscale film structures. From the results, the measured thermal conductivity is in good agreement with the previous published data. Moreover, thermal conductivities are estimated for different film thickness. It indicates that as film thickness decreases, thermal conductivity decreases substantially due to internal scattering.
#Equation of Phonon Radiative Transport(포논 복사 전달 방정식: EPRT) #3ω method(3 오메가 방법) #Characteristic Transmission Matrix (특성전달행렬: CTM)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 측정 방법
3. 이론적 배경 및 수치해석기법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개

참고문헌 (11)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 1995 / Characterization of Functional Relationship between Temperature and Microelectronic Reliability 35 : 377 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 1995 / Review of Heat Transfer Technologies in Electronic Equipment 117 : 333 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - / 1992 / Review of Heat Transfer Technologies in Electronic Equipment google schola 4. [학술지(정기간행물)] - / 1998 / Microscale Energy Transport in Solids 1 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - / 2002 / Ballistic-Diffusive Equations for Transient Heat Conduction from Nano to Macroscales 124 : 320 ~ google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-560-019032811