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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
權赫摝 (중앙대학교) 李晟赫 (중앙대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제56권 제12호
발행연도
2007.12
수록면
2,202 - 2,207 (6page)

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The present article investigates experimentally and theoretically thermal and optical characteristics of thin film structures through measurement of thermal conductivity of Pyrex 7740 and reflectance in silicon thin film. The 300 method is used to measure thermal conductivity of very thin film with high accuracy and the optical characteristics in thin films are studied to examine the influence of incidence angle of light on reflectance by using the CTM(Characteristics Transmission Method) and the 633 ㎚ He-Ne laser reflectance measurement system. It is found that the estimated reflectance of silicon show good agreement with experimental data. In particular, the present study solves the EPRT(Equation of Phonon Radiative Transport) which is based on Boltzmann transport equation for predicting thermal conductivity of nanoscale film structures. From the results, the measured thermal conductivity is in good agreement with the previous published data. Moreover, thermal conductivities are estimated for different film thickness. It indicates that as film thickness decreases, thermal conductivity decreases substantially due to internal scattering.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 측정 방법
3. 이론적 배경 및 수치해석기법
4. 결과 및 고찰
5. 결론
감사의 글
참고문헌
저자소개

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-560-019032811