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이용수
Abstract
1. 서론
2. 급속열공정기의 열전달 모델
3. 최적화 계산
4. 최적화 결과 및 토의
5. 결론
참고문헌
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Control of Wafer Temperature Uniformity in Rapid Thermal Processing using an Optimal Iterative Learning Control Technique
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2000 .10
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1994 .07
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1989 .01
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1995 .01
A Robust Controller Design for Uniform Temperature Control of Nonlinear Multivariable Rapid Thermal Processor
Journal of Electrical Engineering and Information Science
1997 .02
미세패턴 성형을 위한 Rapid Thermal Pressing 시스템의 개발
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2005 .05
밀폐상태 RTP 시스템으로 제작된 CIGS 흡수층의 특성
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2012 .03
리눅스 상에서의 RTP를 통한 음성 통화 시스템 설계
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2002 .11
구조적 불확실성 접근을 이용한 RTP 시스템의 견실제어기 설계
제어로봇시스템학회 논문지
1999 .08
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전자공학회논문지-D
1997 .10
스핀 도핑을 이용한 단결정 실리콘 태양전지 확산 공정 최적화
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2013 .01
고속 열처리공정 시스템에서의 웨이퍼 상의 온도분포 추정
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1999 .05
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