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웨이퍼 연삭 공정의 이론적 모델링을 이용한 형상정밀도 향상 기술에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
웨이퍼 연삭에서 웨이퍼 및 휠의 회전 방향에 따른 연삭액 유동에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2022 .10
웨이퍼 연삭에서 공정 조건에 따른 연삭액의 유동 특성에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
반도체 웨이퍼 진공 스테이지용 알루미나(Al₂O₃)의 연삭 특성에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2020 .11
다중센서 융합에 의한 SiC 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
웨이퍼 수율 향상을 위한 비전 검사 시스템
Proceedings of KIIT Conference
2023 .11
머시닝센터를 이용한 내면 스러스트 연삭가공에 관한 연구
한국기계가공학회지
2015 .08
내면 플런지 연삭과 스러스트 연삭의 비교
한국기계가공학회지
2016 .02
SiC 웨이퍼 연삭 공정 상태감시
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .07
반도체 Wafer Carrier용 CVD-SiC의 Grinding Force와 Specific Grinding Energy에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .04
스러스트 내면 연삭가공의 가공면 정도에 관한 연구
한국기계가공학회지
2016 .10
오비탈 연삭시스템 연삭숫돌의 연삭가공 열 해석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
차세대 하이브리드 연삭시스템 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .04
차세대 하이브리드 연삭시스템 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2016 .04
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
Thermal Deformation Analysis of an Orbital Grinding System Grinding Process
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2016 .07
대면적 사각기판 연삭가공에서 공정조건이 가공 특성에 미치는 영향
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
GC 연마석을 이용한 다이스의 연삭 부하 최적 조건 확립
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
LiTaO₃ 웨이퍼 연삭에서 다이아몬드 입자에 의한 충돌에 관한 해석적 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
SCM 415H 기어의 치면 연삭조건에 관한 연구
한국기계가공학회지
2015 .04
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