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이용수
Abstract
1. 서론
2. 초소형 공기베어링 스테이지 및 터닝 머신
3. 제어 시스템
4. SMA 응용 마이크로 공구 클램핑 장치
5. 자기베어링 마이크로 주축의 설계
6. 결론
후기
참고문헌
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