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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
139 - 144 (6page)

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2007

영구자석 이동형 선형 모터를 가진 초소형 공기베어링 스테이지
노승국 ,  박종권 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.08 학술저널

2006

영구자석 이동형 리니어 모터를 이용한 초소형 공기베어링 스테이지
노승국 ,  박종권 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

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In this paper, a new air bearing stage with magnetic preload and a linear motor has been developed for the future use in machine tools for micro factory. The new air bearing stage is unique in the sense that permanent magnets are used not only for preload but also for motion generation. The air bearings using porous pads were analyzed with numerical method, and the magnetic circuit model was derived for linear motor for calculating required preload force and thrust force. A prototype of single axis miniature stage was designed and fabricated and examined its performances, vertical stiffness, load capacity, thrust force and positioning resolution.
#Micro machine tool #Air bearing stage #Slotless linear motor #Magnetic preload

목차

Abstract
1. 서론
2. 소형 공기베이링 선형이송계 개요
3. 소형 공기베어링 스테이지의 모델링
4. 1축 시작 스테이지의 설계
5. 실험 결과
6. 결론
후기
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